INCA能谱仪性能拓展及其对科研的支撑和产出

能谱仪（EDS）是电子显微镜的重要附件，可以获取电子显微镜无法表征的化学元素信息，既可以做化学成分定性/量分析，也可以用做调制化学元素成分像（EDS MAPPING像）。但传统的STEM EDS MAPPING技术受束斑尺寸限制，信号产额低、采集时间长，成分像的空间分辨率远小于透射电镜图像分辨率，例如，在JEM 2100F/INCA 200配置中，电镜的图像分辨（点分辨率）为0.2nm，而能谱仪（EDS）成分像的分辨率只有约100nm量级。

中国科学技术大学工程与材料科学实验中心龚明老师利用实验室现有的JEM 2100F/INCA 200设备，攻克了STEM EDS MAPPING成像技术中特征X射线信号产额、信号稳定性、持久性等一系列技术难关，大大拓展了能谱仪成分像分辨极限，首次用JEM 2100F/INCA 200配置获得真正纳米级空间分辨率的化学元素成分像，并实现用EDS MAPPING方法对直径2-3nm观测对象的成分像表征。该项技术使纳米离子组装体、纳米异质结、纳米复合材料等纳米材料成分像精确表征成为可能，解决了这一领域长期存在的技术难题。2011年和2012年龚明老师两次在牛津仪器中国用户会上做大会特邀报告（英国牛津仪器是当今国际上最专业的能谱仪研发、制造商，其能谱仪产品在国际市场的占有率超过60%），并获牛津仪器总部颁发的“Outstanding Application Achievement Award”和牛津仪器纳米分析部颁发的2012年度“杰出应用奖”。

该新技术已为我校和国内其他单位学者的前沿研究提供了重要的技术支撑，取得了具有国际显示度的成果，并获赢得学者的高度评价。从2012年至今，新技术支撑的研究成果已在材料化学类一区国际期刊上发表论文14篇，其中一篇发表在Angewandte Chemie的文章，被选作当期封面文章。

Angewandte Chemie, 51(2012), Inside Back Cover,

牛津仪器“Outstanding application achievement award”

牛津仪器2012年度杰出应用奖