高分辨透射电子显微镜

扫描电镜主要用于观察材料表面的微细形貌，断口及内部组织，并对材料表面微区成分进行定量和定性分析，主要用途如下：

l         无机或有机固体材料断口，表面形貌，变形层等的观察和机理研究

l         金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分的坚定

l         观察陶瓷、混凝土、生物、高分子、矿物、纤维等无机或有机材料表面的形貌

l         微型加工的表征和分析集成电路图形及断面尺寸、PN结位置、结区缺陷

l          研究晶体的生长过程、相变、缺陷、无机或有机固体材料的粒度观察和分析