扫描电子显微镜

【主要性能指标】

（1）分辨率：1.5 nm（>10 kV），2.5 nm（1 kV），3.5 nm（500V）；（2）加速电压：200V—30 kV；（3）电子枪：高稳定性In-house Schottky场发射电子枪；（4）最大电子束流：22 nA。

【仪器附件】

（1）Oxford INCA能谱仪：Si（Li）探测器；（2）超ATW窗口，10mm2 活区，分辨率（MnKa）：133 eV，分析元素：Be4—U92。

【主要用途】

观察材料表面的微细形貌、断口及内部组织；金属镀层厚度及各种固体材料膜层厚度的测定；材料表面微区成分进行定性和定量分析，材料表面元素的面、线、点分布分析。

【备注信息】

孔明光高级工程师0551-5591637

王兆明  工程师  0551-5591446

仪器存放地点固体所三号楼104