高分辨冷场发射扫描电子显微镜投入运行并开通网上预约
今年，合肥研究院购置的高分辨冷场发射扫描电子显微镜（Hitachi SU8020）完成安装调试并投入运行。该设备现已开通网上预约，通过中科院仪器共享管理平台预约使用。
SU8020配置了Lower、Upper和Top三个Everhart-Thornley型探测器，可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多种信号，实现微区的形貌衬度、原子序数衬度、结晶衬度和电位衬度的观测，丰富了信号的采集，对样品信息的收集达到了新的高度。并且可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能；标配有冷阱 、电子枪内置加热器，物镜光阑具有清洁功能；该仪器可高分辨率观察样品表面超微结构，尤其对于不导电样品，无需镀膜即可实现高保真观察。同时该仪器还配备了AZtec X-Max 80牛津能谱仪系统，对各种试样微区内Be-Cf的所有元素，进行定性、定量和分布影像分析，还可以通过点、线、面扫描分析样品微区元素分布。
该设备安装在固体所三号楼108室，试运行期间，通过数千样品的测试，用户反应良好，现已加入大型仪器共享平台。
（合肥研究院.固体所）
